等离子清洗机清洗的原理主要是与材料表面发生反应，这种反应分为两种：一种是粒子的化学作用，主要是自由基活性粒子；另一种是粒子的物理作用，主要是正离子和电子。
等离子体被称为“物质的第四态”。我们通常认知和接触的物质状态有三种：气态、液态和固态，同一种物质所含能量不同时，会在三种状态之间相互转换，zui低能量状态是固态，固态吸收能量转化成液态，液态吸收能量转化成气态，气态是三个状态中能量最高的。气态物质吸收更多的能量，就会产生物质的第四态，也就是等离子体。等离子体呈电中性，由电子、离子、光子和中性粒子组成，其中电子和正离子的数量基本相等，但等离子体并是稳定的物质状态，当使其电离的能量消失，各种粒子会重新结合，形成原来的气态分子。
导致等离子清洗机变色原因及解决办法如下：
被清洗件表面变色的主要原因有两点，一是因射频频率、功率选择不当，导致零件整体温度过高，造成材料变性或整体氧化；二是因零件形状复杂，等离子体在零件局部形成了热点，导致局部温度过高，造成局部变性或氧化。
总的来说变色是由于产品表面被氧化导致，解决办法如下：
如果产品易被氧化，一般可以充入氩气和氢气的混合气体，把氢气比例控制在一定范围内，兼顾安全性和效率的平衡，易被氧化的产品，应该避免清洗腔室有氧气的存在，可以通入氢气将氧气还原掉。此外功率过大温度过高导致的产品变色，可以适当调整降低功率，将其控制在一个合适的范围内。
