紫外臭氧清洗机是一种快速干法表面清洗工具.其原理是利用紫外光子对有机物质所起的光敏氧化作用，以达到清洗粘附在物体表面上的有机化合物(碳氢化台物)的目的。是清除硅、砷化镓、石英、蓝宝石、玻璃、云母、陶瓷、金属等表面有机污染物的安全、*的方法。
除清洗外，该清洗机还可用于表面改质，如通过紫外处理后,涂层与表面的粘附力可大大增加,并可用于生物芯片制作过程中PDMS键合于表面改质，如通过紫外处理后，涂层与表面的粘附力可大大增加，并可用于生物芯片制作过程中PDMS键合等。
紫外臭氧清洗机有哪些优点：
1、被清洗的表面除了光子，不与任何物体发生接触，有机物经过紫外光照射发生光敏氧化反应后，生成可挥发性气体(CO2、CO、H2O等)从表面消散,随着排风系统抽走。
2、表面洁净度高，且不会像溶液清洗时发生二次污染。
3、光清洗的表面不会受到损伤，由于光子的能量相对比氩等离子体溅射或惰性气体离子轰击的能量小，光清洗后的表面不会受到损伤或发生晶体缺陷的现象。
后的表面不会受到损伤或发生晶体缺陷的现象.
4、光清洗对物体表面微细部位(如孔穴、微细沟槽等)具有有效而*的清洗效果。由于紫外光是纳米短波紫外线，能够射入材料表面的极为细微的部位,发生光敏氧化反应，充分表现出光清洗的*性。
