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是等离子表面改性的其中较为常见的一种方式。它采用不锈钢材质的腔体，内置电极板不产生污染其他结构，如舱体、阀体，管路采用耐用防腐蚀材料。适用于实验室科研、小批量生产，是小部件纳米清洗、表面活化、表面改性等，如下：
1.表面清洁；
2.表面活化；
3.键合；
4.去胶；
5.金属还原；
6.表面刻蚀；
7.去除表面有机物；
8.疏水实验；
9.镀膜前处理等。
等离子清洗机的优点在哪里？
1、采用电容式等离子激发，产生的等离子体分布均匀，能确保材料处理过程效果好及可重复性；
2、采用彩色触摸屏+PLC全自动控制,根据处理不同的材料设置在线清洗功能，修改监控真空压力，处理时间，等离子功率等工艺参数。傻瓜式设备，操作简单快捷，可一键启动，连续重复运行，J确控制试验时间、真空度、功率等重要参数,程序内设多项安全保护，防止误操作，对人和仪器做到最大保护；
3、设备具有手动、自动两种模式任意切换，手动模式用于实验工艺的模拟及设备维护校准。
4、可预置多个实验参数，简化操作，提高效率。编好程序自动完成整个实验过程；
5、使用成本低，无需进行特殊维护，在日常使用中保持仪器清洁即可。
从机理上看等离子清洗机在清洗时，利用工作气体在电磁场的作用下所激发的等离子与物体表面产生物理反应和化学反应。其中物理反应机制是活性粒子轰击材料表面，使污染物脱离表面而被真空泵吸走；化学反应机制是各种活性的粒子和污染物反应生成易挥发性的物质，再由真空泵吸走从而达到清洗目的。
