等离子清洗机种类也有很多，通常多可分为大气等离子清洗机和真空等离子清洗机，区别在于工作时所处的气压环境状态，前者为常压放电，后者是在低压真空的环境下产生辉光放电，无论是哪一种，其等离子体产生的过程却是基本相同的。
物质从能量较低的聚合态转为能量较高的聚集态需要外界提供足够的能量，形式有加温、电场、辐射等，等离子清洗机所产生的等离子体便是一种能量较高的物质聚集态，通过对气体施加电场能量电离为原子、离子、电子等，等离子体中，由于所带的正负电荷数几乎相等，所以在宏观层面上能够将其看做是电中性的。理论解释比较晦涩，我们可以通过水为例来了解一下。
当温度在0℃以下时，水就会呈现固体形态冰；通过加热，当在0℃到100℃之间，就会由固体形态冰化为液体形态的水；而当温度继续上升到100℃以上，液体形态的水就会变成气态的水蒸气。而温度到上万度之后转化为包括原子、离子、电子在内多种粒子的等离子体。
在等离子体具体的产生过程中，大气等离子清洗机是把无水无油的压缩空气即CDA，通过喷枪电极电离而形成等离子体。
而真空等离子清洗机是先将反应腔体抽成真空状态，然后通入反应气体，维持腔体内一定的真空度，再将电通电，形成高频高压电场，电离形成等离子体。
