等离子清洗机使用的工艺气体如Ar，He，H2等是非反应性气体。这些气体原子不直接进入到高分子材料表面的大分子链中，但由于这些非反应性气体等离子中的高能粒子对材料表面的轰击，进行能量传递，产生大量的自由基，借助于这些自由基在材料表面形成双键和交联的结构，所以非反应性气体等离子体在材料表面形成薄薄的致密的交联层，不仅改变了材料表面的自由能，而且还可以减少高分子内部低分子物质（增塑剂、抗氧剂等）的渗出。
当选用惰性气体进行等离子表面处理时，如果被处理的高分子材料本身含有氧，则会因大分子断裂分解而形成大分子碎片进入等离子体内，向等离子体系统提供了氧，也将产生氧等离子体的效果。如果材料本身不含氧，用惰性等离子体处理之后新生的自由基（半衰期可达2~3天）和空气中的氧作用也会导致氧结合到大分子链上,所以惰性气体等离子体处理含氧的高分子材料时，将出现交联刻蚀，引入极性基团三者的竞争反应，对于不含氧的高分子材料，只是处理后与空气中的氧作用而引进含氧基团。
工作中的等离子清洗机的等离子体体表面处理是指非聚合性气体对高分子材料表面作用所发生的物理和化学过程。非聚合性气体包括反应性气体和非反性气体,等离子清洗机选用的气体分类的不同对高分子材料表面作用的机理也不相同。
等离子体诱导聚合是在辉光放电条件下产生的活化粒子诱导的通常的（分子）聚合作用，在材料表面产生目由基，然后与单体结合，结合方式有分子链发生交联或侧链上接枝、官能团置换及嵌段聚合等等。要用等离子体诱导聚合作用形成聚合物，单体必须含有聚合能力的结构，如烯烃的双键、三键或环状结构。等离子体态聚合（PSP）是通过等离子体活化粒子的再聚合而沉积到材料表面，这种聚合作用是该过程在等离子体中产生的原子的过程。
