等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。
低温等离子清洗机是一种新型的清洗技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。通过产生等离子体，将气体转变为高能物种如离子和激发态分子，然后利用其化学反应性来清洗和改善材料表面。气体被激发到等离子态，然后在固体表面上吸附，吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子，分析产物分子以形成清洁效果。
主要包括以下几个组成部分：
1.清洗室：清洗室是设备中的主要部件，用于容纳待清洗的物体。通常由不锈钢等材料构建，并具有真空密封设计，以确保内部气体压力和环境条件的控制。
2.等离子体源：等离子体源是产生等离子体的关键部件。常见的等离子体源包括射频（RF）等离子体源和微波等离子体源。它们通过加热和激发气体，使气体转变为等离子体，并释放出高能粒子。
3.气体供给系统：气体供给系统用于提供清洗过程所需的工作气体。常用的工作气体包括氮气、氧气、氢气等，根据清洗要求可以选择不同的气体组合。
4.控制系统：控制系统用于监测和控制整个清洗过程。它可以实时监测气体流量、温度、压力等参数，并调节等离子体源的功率和气体供给量，以确保清洗过程的稳定性和一致性。
具有以下优点：
1.无溶剂清洗：使用等离子体清洗技术，不需要使用溶剂，避免了挥发性有机物的使用和排放，更环保。
2.清洗效果好：等离子体能够快速氧化分解有机物，有效去除污染物和氧化层，清洗效果较好。
3.低温操作：清洗过程在常温下进行，不会对样品造成热损伤，适用于对热敏感性物品的清洗。
4.广泛应用：可应用于多种材料表面的清洗和改性，包括金属、陶瓷、玻璃、塑料等。
