等离子表面处理仪是一种利用等离子体技术对材料表面进行改性的设备，利用电子束或高频电场将气体转化成等离子体，并对材料表面进行处理。在这种过程中，等离子体可以产生各种物理、化学反应，从而使表面组分发生改变，形成特定的化学键或功能基团。这种技术可以实现很多不同的表面改性要求，包括增加表面能、提高耐磨性、提高生物兼容性、改性电学、磁学性能等。
在制备过程中，常见的操作就是在真空侧以一定的压力、温度、时间、气体为参数进行处理。在加工过程中，通过等离子体对材料表面的蚀刻、注入、沉积等操作形成所需的表面改性结构或组分。
1、准备设备和材料：制备需要的主要设备有等离子放电器、气体进料系统、真空泵等，还需要一些化学品如乙烯酸、甲基丙烯酸、过氧化氢等。在准备设备和材料时，应注意安全操作，如正确连接电路、保护器具等。
2、搭建反应装置：将等离子放电器、气体进料系统和真空泵等设备组装在一起，形成一个反应装置。在组装时，应注意设备之间的接口密封，以确保真空环境和气体流通畅通。
3、设定反应条件：按照所需的表面处理效果，设定等离子放电器的电压、频率、功率、气体流量等反应条件。例如，用乙烯酸降低表面润湿性时，可选择较高的电压和功率，较低的频率和气体流量，反应时间约为数分钟。
4、进行反应处理：打开气体进料系统和真空泵，形成较高的真空度，将待处理的材料加入反应室中，再将反应条件设定到所需的数值。开始进行反应处理，并在反应结束后关闭气体进料系统和真空泵。
5、验证处理效果：用适当的仪器如接触角仪、测厚仪等验证反应处理的效果，对处理效果不佳的样品，可再进行重复处理或改变反应条件。同时需要进行清洗和消毒，以保持设备和材料的卫生和安全。
等离子表面处理仪不仅可以在常压、常温下进行表面处理，也可以在低温、低压、高温、高压等环境下进行表面处理。这种灵活性和多样性使其在不同场合下都可以起到实质性的应用作用。目前，已经广泛应用在很多领域中。一些在金属、陶瓷、高分子等材料制备和加工领域中发挥了非常重要的作用。
