真空泵用的行业比较多，如医院里的消毒柜、啤酒行业、罐装饮料等地方，该泵利用机械、物理、化学、物理化学等方法对容器进行抽气，以获得和维持真空的装置。设备广泛应用于电子、冶金、化工、食品、机械、医药、航天等部门。
设备的日常维护：
1、检查油的位置。
2、经常检查油质情况，发现油变质应及时更换新油。
3、换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑，由用户酌情决定。抽除清洁干燥的气体时，建议在工作100小时左右换油一次。
4、一般情况下，工作2000小时后应进行检修，检查桷胶密封件老化程度，检查排气阀片是否开裂，清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个真空泵腔内的零件，如转子、旋片、弹簧等要停止使用时，先关闭闸阀、压力表，然后停止电机。
5、在工作第一个月内，经100小时更换润滑油，以后每个500小时，换油一次。
6、经常调整填料压盖，保证填料室内的滴漏情况正常（以成滴漏出为宜）。
7、定期检查轴套的磨损情况，磨损较大后应及时更换。
8、在寒冬季节使用时，停车后，需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净。防止冻裂。
9、长期停用，需将泵全部拆开，擦干水分，将转动部位及结合处涂以油脂装好，妥善保管。
由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
