目前已经广泛运用的清洗办法首要有湿法清洗和干法清洗。湿法清洗的局限性非常大，从对环境的影响、原材料的耗费及未来的开展考虑，干法清洗要明显优于湿法清洗。其中开展较快和优势明显的是等离子体清洗。
等离子体是指电离气体，是电子、离子、原子、分子或自由基等粒子组成的集合体。清洗时高能电子碰撞反应气体分子，使之离解或电离，运用产生的多种粒子轰击被清洗表面或与被清洗表面产生化学反应，从而有用地*各种污染物；还能够改进材料本身的表面功用，如前进表面的润湿功用和改进膜的粘着力等，这在许多运用中都是非常重要的。
经等离子清洗后器件表面是枯燥的，不需要再处理，能够前进整个工艺流水线的处理效率；能够使操作者远离有害溶剂的损伤；等离子能够深入到物体的微细孔眼和凹陷的内部完结清洗，因而不需要过多考虑被清洗物件的形状；还能够处理各种质料，特别合适不耐热以及不耐溶剂的质料。这些利益，都使等离子体清洗得到广泛重视。
等离子清洗分为化学清洗、物理清洗及物理化学清洗。针对不同的清洗对象可挑选O2、H2和Ar等艺气体进行短时间的表面处理。
1.1化学反应为主的清洗
运用等离子体里的高活性自由基与材料表面的有机物等做化学反应，又称PE。选用氧气进行清洗，使非挥发性的有机物变成易挥发的形状，产生二氧化碳、一氧化碳和水。化学清洗的利益是清洁速度高、挑选性好和对清洗有机污染物比较有用，首要缺点是生成的氧化物可能在材料表面再次形成。在引线键合工艺中，氧化物是不希望有的，这些缺点能够通过恰当挑选工艺参数进行防止。
1.2物理反应为主的清洗
运用等离子体里的离子做纯物理的碰击，把材料表面附着的原子打掉，也称为溅射腐蚀（SPE）。选用氩气进行清洗，氩离子以足够的能量轰击器件表面，碰击力足以去除任何尘垢。聚合物中的大分子化学键别离成小分子而汽化，通过真空泵排出。一同通过氩等离子清洗后，能够改动材料表面的微观形状，使材料在分子级范围内变得更加“粗糙”，可大幅改进表面活性，前进表面的粘结性能。氩等离子的利益是收拾材料表面不会留下任何氧化物。缺点是可能产生过量腐蚀或污染物颗粒重新积累在其他不希望的区域，但是这些缺点可通过细调工艺参数得到操控。
1.3物理化学反应一同存在的清洗
反应中物理反应与化学反应均起重要作用的清洗。如选用Ar和O2的混合气体进行在线式等离子清洗过程时，反应速率比单独运用Ar或O2都要快。氩离子被加快后，产生的动能又能前进氧离子的反应才干，因而用物理化学办法可*污染较为严峻的材料表面。
